Hardware

Detail Engineering
E-Plan P8, Inventor
Konstruktion
Nach CE (EN), NFPA (UL) und SEMI
Inbetriebnahmen
Wenn gewünscht mit TPS (Test Prozedur Spezifikation) and TAR (Test Akzeptanz Report)

Bau
Module, Teststände und Kleinserien mit
Instanzmanagement bis zu ganzen Produktionslinien.

Elektronik:   3,2 V .. 10 kV
Kühlung:   100 W .. 25 kW
Vakuum:   10 .. 0,001 Pascal
Gase:   0,1 .. 10 bar

MLAP DEDas für das Projekt verwendete Mikrolinsenarray ist ein Array mit einer Fläche von 2,8 mm² und 280 Linsen. Wir entwarfen die elektrische Hardwarearchitektur, programmierten die Software und führten die elektrische Installation zur Positionierung und Verklebung des Mikrolinsenarrays mit einer mehrachsigen Steuereinheit und optischer Bildverarbeitung in 6 Freiheitsgraden mit 100 nm Genauigkeit durch.

EBL2LayoutFrameUm eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, muss ein Zinnplasma in einer Hochvakuumumgebung unter Verwendung von Hochspannung erzeugt und gesteuert werden. Gemeinsam mit unserem Kunden haben wir die gesamte Umgebung einer solchen EUV-Quelle entwickelt, gebaut und programmiert.

Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.

Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, müssen Medien und Prozesse in Echtzeit geregelt und gesteuert werden. Um die dafür eingesetzte Hard- und Software zu evaluieren, ist ein Simulator sehr hilfreich, spart aber auch enorme Kosten, da die realen Maschinen nicht belegt werden müssen. Für unseren Kunden haben wir solch einen EUV-LDP-SOURCE-Simulator entwickelt.

ResonantChargingBis zu 15000 Mal pro Sekunde muss zwischen zwei Elektroden, durch resonantes Laden, eine definierte Spannung erzeugt und durch Triggerlaser wieder entladen werden. Wir haben ein solches System von Grund auf neu entwickelt und eine bisher nicht gekannte Wiederholgenauigkeit erreicht.

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