LEBENSDAUER-PRÜFSTAND FÜR ZINN-ZIRKULATIONS-SYSTEME

Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.

Qualität oder bessere Verfügbarkeit spielt im Halbleitergeschäft eine extrem wichtige Rolle. Ungeplante Ausfallzeiten kosten enorme Summen. Prüfstände sind daher unerlässlich.

Diese Prüfstande laufen unbegleitet durch die Betriebsphasen und zeichnen alle relevanten Daten in einer Log-Datei für eine lückenlose Qualitätskontrolle auf.

#EUV

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