Forschung & Entwicklung

Wenn eine Idee im Labor verifiziert wurde, sind wir Ihr Partner, um sie industrietauglich zu machen. Wir entwickeln und bauen für Sie Prozessmodule, Automatisierungen und Prüfstände vom Prototypen über Kleinserien bis hin zu Anlagen für die Massenproduktion.

LaserreinigungDa Backplatten während der Waffelproduktion verschmutzen ist eine periodische Reinigung notwendig, um die Endqualität des ausgehenden Produktes zu gewährleisten. Unser Kunde entwickelt eine neue Anlage zur vollautomatischen Reinigung von Backplatten mit Lasertechnologie. Wir helfen bei der Überwachung des Prozesses durch den Einsatz von Bildverarbeitung.

MLAP DEDas für das Projekt verwendete Mikrolinsenarray ist ein Array mit einer Fläche von 2,8 mm² und 280 Linsen. Wir entwarfen die elektrische Hardwarearchitektur, programmierten die Software und führten die elektrische Installation zur Positionierung und Verklebung des Mikrolinsenarrays mit einer mehrachsigen Steuereinheit und optischer Bildverarbeitung in 6 Freiheitsgraden mit 100 nm Genauigkeit durch.

EBL2LayoutFrameUm eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, muss ein Zinnplasma in einer Hochvakuumumgebung unter Verwendung von Hochspannung erzeugt und gesteuert werden. Gemeinsam mit unserem Kunden haben wir die gesamte Umgebung einer solchen EUV-Quelle entwickelt, gebaut und programmiert.

ResonantChargingBis zu 15000 Mal pro Sekunde muss zwischen zwei Elektroden, durch resonantes Laden, eine definierte Spannung erzeugt und durch Triggerlaser wieder entladen werden. Wir haben ein solches System von Grund auf neu entwickelt und eine bisher nicht gekannte Wiederholgenauigkeit erreicht.

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